Speciální plyny nacházejí využití především při používání analytických přístrojů, iniciaci, stabilizaci nebo eliminaci chemických procesů, zesílení intenzity osvětlení pro vytvrzování, značení, sváření nebo řezání. Jde o plyny ve velmi čisté formě, ve které jsou hořlavé, toxické nebo korozivní, takže je nutné používat speciální zařízení pro jejich regulaci. Tyto přístroje musí splňovat přísné požadavky na stabilitu průtoku a tlaku plynů.